管道氮气置换-念龙化工

置换新建管道 ：依次开启放散点5 的火炬放散阀、X1-1，

缓慢开启X3 阀门控制压力和流速，直至检测合格后关闭调压

器进口阀门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、X2-1，直至检测合

格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散点5、6 处放散火炬

并***放散口原貌，完全开启X3 阀门。

置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3 的

火炬放散阀、调压器进口阀门，管道氮气置换方案，缓慢开启ZF2 阀门控制压力和

流速，直至检测合格后关闭调压器进口阀门，管道氮气置换，按程序拆除放散

火炬并***放散口原貌，完全开启ZF2 阀门 ；同理对支管1 进

行置换。完成后，对碰口点、拆卸过的管件进行检漏，确认无泄

漏后方可***供气。

***供气

开启GF2、GF3、X1、X2 阀门，***并网后整个中压管网正

常供气 ；对调压器后的低压管网，严格按照低压系统***供气

程序进行***供气作业。

2.3.氮气置换范围:

(1)本次氮气置换范围为长度为2.5KM的管道。

(2)置换系统中涉及到所有管线和设备上的连通阀门打开。

(3)置换系统中涉及到的天ran气储罐、天ran气压缩机、天ran气汽化器、天ran气泵、稳压罐等及管道上的各仪表一次阀需打开一并置换。

(4)置换系统中以上涉及到的设备、管道上的排空阀和排污阀需关闭。

（1）性气体

把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高，如B 2H6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有H 2，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3， B 2H6，管道氮气置换，PH3等气体的毒性***大，它们的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO， ***F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都属于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，燃气管道氮气置换氧含量，WF6等。

（4）惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ，Cl2，NF3等。