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发布时间:2020-09-09 17:54:03
(1)性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体只要与空气接触就会燃烧,当环境温度达到一定时,PH3与B2 H6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧***性就越高,如B 2H6的上限为98%,下限为0.9%。属于气体有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。
(2)毒性气体(Toxic Gas):半导体制造行业中使用的气体很多都是对******、***的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性***大,它们的阈限值TLV(Threshold Limited Valve)分别只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。NO,管道氮气置换, ***F6,燃气管道氮气置换氧含量,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属于毒性气体。
(3)腐蚀性气体(Corrosive Gas):这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性,如HCl, HF,管道氮气置换, PCl3, SiF4,长输管道氮气置换,ClF3,WF6等。
(4)惰性气体(Inert Gas): 隋性气体本身一般不会直接对***产生伤害,在气体传输过程中,相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性,在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性气体(Oxide Gas):这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3 ,Cl2,NF3等。
注氮过程险的预防
为避免注氮过程中的风险,施工人员应首先将清管器置入
管道,继而逐渐排出管道中的氧气,打开出站阀门,注入
氮气。在此基础上,应采用以下手段对风险进行预防 :(1) 人的
不安全行为预防 :确定操作员工的精神状态及技能能力是否
满足工作需要。(2) 工艺检查 :施工人员应于氮气置换前,对注
氮设备进行检查,判断设备连接是否完好,避免发生氮气***,
以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场
工作环境检查,密闭环境或氮气容集聚的场加强通风,或采取
强制通风措施。(4) 应急措施到位 :工作现场有相应的应急预案
并有与之对应的应急救援器材。
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