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高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式， 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 ， 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 ， 据说在 公里范围 内有液态源 ， 还 是有使用的可取之 处 ， 然 而不论是 用 液态 还 是气态 ， 将贮存容器集 中输送为 好 ， 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 ， 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 ， 我们可 以参照 图 ， 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 ， 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、，管道置换， 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 ， 进行 流量 估 算 ， 采用经济合理的流速 ， 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 ， 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 ， 我们对多个生产车伺 ， 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 ， 各车间管径相 同， ***一路， 力避相互窜气干 扰 ， 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺，煤气管道置换， 使用管理和维护方便 ， 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 ， 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
***置换过程中氮气浓度对置换安全性的影响及预防

置换过程险的预防

为预防“”、“窒息”、“火灾”等风险，施工人员应采用

以下手段，对氮气注入的浓度进行控制 ：(1) 观察是否彻底置

换 ：氮气注入的过程中，施工人员应每隔5min 抽取管道中的

气体，连续检测3 次，对气体的类型进行检验。如检验结果显

示氮气的浓度＞98%，则表明氮气置换较为彻底，可安全的对

进行置换。(2) 置换氮气的过程中，氮气压力应控制在

0.02 ～0.1MPa 之间，以推动清管器前进。待清管器到达收球筒

后，需关闭阀门，停止置换。

2.4.氮气置换方法:

其管线氮气置换作业如下:

(1)?置换步骤如下:一般可用10Mpa的氮气进行置换，置换至区所有容器内氧气的含量低于1%。具体步骤:用10Mpa的氮气气源进行置换;用氮气从管道进气口接入把区所有储存容器及连接管道加压至300—400Kpa;

(2)?通过进气口注入氮气后，打开排空阀，使容器管道内压力减小至50Kpa以下;一般重复3-4次直至所有容器、管线中氧气的含量低于1%。

(3)?排放时排放口附近不允许人员靠近(因氮气是惰性气体有窒息***)。

(4)在设备或管线使用后，燃气管道置换，若因维修需再拆卸时，亦应进行氮气置换，其方式如上述，或可使用低压连续氮气置换方式。此时之氮气置换以不致危害人员为原则。使用上述方式加压氮气置换时，至少应两次，修复后再行注入前，亦同上述进行氮气置换程序。氮气置换后氮气排放至主管线上之排空阀排放。

(5)依照氮气置换流程向系统引入N2以约0.02MPa/分钟速度升压至〉0.3?MPa，然后缓慢泄压至0.05MPa。

(6)每次氮气置换泄压后在氮气吹扫口采样分析氧含量，如果合格，则氮气置换结束。

(7)燃气改造工程氮气置换所需要的氮气约折40L?10MPa氮气70瓶/次，按2次置换准备共约140瓶。

备注:氮气置换完成后(注前)所有阀门及设备禁止操作

3.其他说明

1.?本方案由气体有限公司操作、实施。

2.?在本项工作置换期间，管道置换范围内所有设备禁止运行，保持自然通风。

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